投资要点：

1、离子注入设备国产替代有望提速

2、离子注入设备有望快速放量，平台化发展打开成长空间

3、盈利预测

万业企业(600641)

一、离子注入设备国产替代有望提速

全球半导体行业景气拐点已经出现，看好2024年进入新一轮上行期。对于中国大陆市场，半导体行业同样出现复苏迹象，2023年3月以来，同样连续7个月环比为正。SEMI预计2024年全球晶圆厂设备支出约1000亿美元，同比增长14%，2024年半导体设备需求有望明显反弹，进入下一轮上行周期。对于中国大陆市场，叠加自主可控需求，看好2024年半导体设备需求加速放量。

离子注入为晶圆制造掺杂核心工艺，技术壁垒较高。离子注入机可划分为低能大束流、中低束流和高能离子注入机三大类，其中低能大束流离子注入机广泛应用于源漏、多晶硅栅极注入，市场占比高达61%。华西证券预计2024年全球半导体离子注入设备市场规模可达245亿元，其中低能大束流离子注入机达到149.5亿元。预计2024年中国大陆半导体离子注入设备市场规模约为86亿元，其中低能大束流离子注入机市场规模可达52.3亿元。

离子注入机为前道设备国产化率最低环节之一，预估2022年国产化率仍不足10%。细分国产设备商来看，凯世通和中科信已经实现批量国产化，二者优势领域互补，凯世通前期聚焦低能大束流和高能离子注入机领域，而中科信的中能离子注入机具备较强市场竞争力。往后来看，在实现0到1突破的基础上，看好国产离子注入机1到N快速放量。

二、离子注入设备有望快速放量，平台化发展打开成长空间

万业企业半导体行业布局可划分为装备和零部件两个板块，分别依托子公司凯世通、嘉芯半导体和镨芯电子开展。2021年5月凯世通低能大束流离子注入机通过客户验收，为国产设备首例。2023Q1公司与新增12英寸客户签署高端离子注入机相关订单金额超1亿元，产品覆盖低能大束流、低能大束流超低温、高能离子注入机等不同类型，并开拓覆盖了逻辑、存储、功率等多个应用领域。

2023年截至中报披露日（2023.8.25)，凯世通又新增集成电路离子注入机订单金额超1.6亿元，在手订单饱满。随着凯世通在多家客户端的设备验证加速推进，公司有望充分受益于一线晶圆厂后续大规模扩产，离子注入机订单有望加速放量。随着上海金桥基地正式启动，有望支撑公司离子注入机后续大批量订单交付的需求。随着在手订单陆续交付、确认收入，凯世通规模效应有望明显体现，叠加量产机型溢价能力提升，凯世通利润端拐点同样有望快速出现。

公司在稳固离子注入机龙头地位的同时，切入市场规模更大的薄膜沉积、刻蚀等核心制程设备环节，进一步打开公司在半导体设备领域的成长空间。嘉芯半导体自2021Q4正式运营，截至2023年中报披露日，嘉芯半导体累计获取订单金额超4.7亿元，其中2023年累计新增订单金额超1.3亿元。随着战略级客户陆续引入、设备品类&先进性快速拓展，嘉芯半导体成长空间有望快速打开。

2020年12月，公司牵头境内外投资人以镨芯电子和镨芯控股为收购主体，实现了对CompartSystems的收购，间接成为其第一大股东。通过此次收购，进一步加强公司在半导体设备领域的产业协同效应，夯实核心竞争力。2022年5月，公司引入大基金二期增资，有利于深化CompartSystems与国内半导体设备企业的产业协同，加快推进CompartSystems中国大陆业务开展。

三、盈利预测

华西证券预计公司2023-2025年营业收入分别为11.89、14.09和16.67亿元；2023-2025年归母净利润分别为3.99、4.68和5.44亿元，2023-2025年EPS分别为0.43、0.50和0.58元，2023年12月1日收盘价17.27元对应PE分别为40、34和30倍。考虑到公司离子注入机的市场竞争力，以及“1+N”平台化发展的成长空间，成长性较为突出，首次覆盖，给予“增持”评级。

风险提示：晶圆厂资本开支下滑、客户验证不及预期、转型风险等。

研报来源：华西证券《万业企业公司深度研究报告》，分析师：刘泽晶（S1120520020002），2023年12月2日。

编辑：黄宇

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