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中微公司发布晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™
人民财讯3月27日电,在SEMICON China 2025展会期间,中微公司自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™正式发布。中微公司表示,此款刻蚀设备的问世,实现了在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新,标志着公司向关键工艺全面覆盖的目标再进一步,也为公司的高质量发展注入强劲动能。
中微公司
等离子体刻蚀技术
12英寸晶圆
人民财讯
03-27 10:14
中微公司在等离子体刻蚀技术领域再次实现重大突破
人民财讯3月26日电,近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)宣布通过不断提升反应台之间气体控制的精度,ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star®又取得新的突破,反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A(亚埃级)。这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上,均得到了验证。该精度约等于硅原子直径2.5埃的十分之一,是人类头发丝平均直径100微米的500万分之一。这是等离子体刻蚀技术领域的又一次创新突破,进一步巩固了公司在高端微观加工设备市场的领先地位。截至目前,Primo D-RIE®以及下一代产品Primo AD-RIE®在逻辑客户的产线上的量产反应台已经超过2000台,并有近600个反应台在国际最先进的逻辑产线上量产,其中相当一部分机台已在5纳米及更先进的生产线上用于量产。
中微公司
等离子体刻蚀技术
刻蚀精度
人民财讯
刘良文
03-26 17:24
大数据扫描 科创板家族里的“单项冠军”都是谁?
岁月不居,时节如流。短短4个多月时间,50多名科创选手跑进科创板赛道,成为A股市场最受瞩目的“资本方阵”。科创板家族中群英荟萃,各领风骚。通过大数据筛选,上证报记者对科创板所有成员进行了一次大扫描,围绕专利、学历、薪酬等指标,找一找谁是科创板阵营里的“单项冠军”。“硬核”指标:看研发数专利如何衡量科技公司的科技“硬度”?研发投入和专利是两个重要参考指标。统计数据显示,51家科创公司中,研发投入占营收比重(2018年度)超过15%的有18家,其中微芯生物以55.85%位居榜首。微芯生物是一家创新药研发公司。2016年至2018年,公司研发投入占比分别为60.52%、62.01%和55.85%,一直保持较高水平。发明专利证书可以给科技“硬度”称个重。数据显示,51家公司中发明专利数量在100个以上的有9家,中微公司以951个发明专利问鼎“专利王”。从细分行业来看,发明专利数量前十名公司,基本被集成电路产业、高端装备制造产业包揽。学历指数:“高知”群体学霸多科创企业,少不了学霸董事长。据统计,51家科创板公司中,46家公司董事长拥有本科及以上学历,占比超过九成;清华大学、上海交通大学分别输出3名董事长;来自北大、南开、浙大的董事长各有1名;中欧商学院和长江商学院等商学院则是董事长们“充电”的优选。从最高学历分布来看,学士、硕士、博士学历占比分别为13.73%、43.14%、33.33%,且三成以上董事长有海外留学背景。科创板公司员工整体素质较高,员工学历在本科及以上占比超50%的有21家公司。其中乐鑫科技员工本科及以上占比达到95.43%,硕士、本科占比分别为52.28%、43.15%。除学历之外,研发人员数量占比也能反映公司对科技创新的重视程度。记者发现,有10家公司研发人员占公司员工总数的一半以上,其中美迪西研发人员高达82.26%,学霸扎堆的乐鑫科技研发人员占比也超过六成。“奔跑”速度:“大块头”抢了先各有所长的科创板企业,个体差异也较大,“奔跑”的速度也不一样。中国通号是科创板的“巨无霸”,以105.3亿元稳居科创板最大规模募资的首席。虽是“大块头”,中国通号冲刺IPO的速度可不慢。公司从4月16日获受理到7月22日上市,仅用时97天,跑出了科创板IPO最快时速。西部超导、嘉元科技、杭可科技紧随其后,均为98天。科创板既讲究效率,又少不了耐力的支持和活力的补给。今年7月22日,年轻的科创板迎来一名科技“老兵”。年过古稀的尹志尧在75岁率领中微公司在科创板上市。尹志尧称得上是半导体领域的权威,他拥有89项美国专利和200多项其他海内外专利,凭借其在业内长达35年的经验积淀,大力推动国际等离子体刻蚀技术的发展与产业化。“一老一少”的鲜明对比,诠释了什么叫科创精神。从年龄分布看,51家科创板董事长中,尹志尧是唯一的“40后”;“60后”、“70后”是中流砥柱,占比分别为54.9%、33.33%。38岁的柏楚电子董事长唐晔,是目前唯一跑进科创板的“80后”,是最年轻的科创板公司董事长。财富厚度:“首富”手握236亿市值知识创造财富,科创改变命运。科创板试点注册制,为无数昼夜赶路的科创人照亮了前行之路,也为寂寞陪跑的投资人更多的勇气和信心。科创板,是给技术“称重”,让知识“变现”、使财富“增值”的成长之路。公司业绩和个人财富的比拼,也是市场关注的话题。从盈利规模来看,中国通号首屈一指,公司2018实现净利润37.17亿元,绝对值居首。薪酬方面,51家科创板公司董事长平均薪酬在133.03万元(2018年度),但差异较大。其中澜起科技董事长杨崇和年薪高达1774.2万元,美迪西、西部超导、海尔生物、虹软科技4家公司董事长去年薪酬一栏为0。数据显示,科创板公司员工人均年薪在7万元到百万不等,四成以上公司员工年薪超过20万元,其中唯一一家员工人均薪酬达到百万级别的是澜起科技。2018年,澜起科技员工人均薪酬为120.88万元。值得一提的是,澜起科技总经理Stephen Kuong-lo Tai 2018年薪酬为1787.82万元,超过了董事长。南微医学、光峰科技总经理2018年薪酬分别为462.39万元、249.3万元,均超过董事长年薪。从个人财富角度看,目前科创板“首富”是华熙生物实际控制人、董事长赵燕。据披露,赵燕通过华熙昕宇间接持有2.84亿股,持股比例为59.06%。记者根据最新收盘价83.37元/股计算,赵燕持股市值已达到236.77亿元。科创板“富豪榜”前三甲,还包括杭可科技实控人曹骥、曹政父子(持股市值约60亿元),乐鑫科技实控人Teo Swee Ann(持股市值约53亿元)。(上海证券报)
科创板
大数据
电子
上海证券报
2019-11-29 09:08
IPO估值超百亿,这家科创企业刻蚀设备打破国际垄断,还是全球MOCVD龙头!
古人云“工欲善其事,必先利其器”。半导体产业亦如此:没有能加工出人头发丝几千分之一到上万分之一尺度的微观加工设备,就无法造出芯片。作为科创板首批上市公司之一,中微公司生产的是芯片制造中最关键设备之一——刻蚀机。从独立研发的刻蚀设备打破国际企业在国内市场垄断,到成为全球MOCVD龙头,再到刻蚀设备应用于全球最先进的5纳米生产线,十五年来中微公司砥砺前行,用不断的技术创新诠释中国制造。“信息产业的基础是集成电路和各种微观器件(包括芯片等)。随着微观器件尺度越来越小,研发和制造高端微观加工设备,在人头发丝直径的几千分之一到上万分之一的尺度上,加工复杂的微观器件,成为最重要的、最关键的、最卡脖子的核心产业。中微公司以自主的创新和独立的知识产权开发的等离子体刻蚀机已在国内外众多客户生产线广泛应用,并核准加工14纳米、7纳米和5纳米的最先进器件。同时,公司自主研发的制造氮化镓基LED外延片的MOCVD关键设备,在众多的LED生产线上已成为市场首选设备;展望未来,公司的各类刻蚀和薄膜设备均面临了市场机会和继续快速增长的空间。”中微公司董事长及总经理尹志尧在近期路演时介绍说。7月22日科创板就将鸣锣开市,中微公司本次定价及未来表现是近期热议话题,安信证券研究中心总经理助理诸海滨接受证券时报•e公司记者采访时认为,中微公司是我国半导体设备企业中,极少数能与全球顶尖设备公司直接竞争并不断扩大市场占有率的公司,也是业界公认的后起之秀。其在A股具有稀缺性,加上高成长的预期,所以市场给出了高估值;未来主要关注业绩能否保持高增长势头从而对公司估值形成有力支撑。同时他建议,对科创板特殊企业的估值方式应多样化,例如在半导体产业链中:1、晶圆制造类的重资产企业,更适合采用PB或者EV/EBITDA两种相对估值法;2、轻资产芯片设计类企业,采用EV/Sale或者EV/EBITDA法可能更宜;3、上游半导体设备/材料类企业,则更适合采用PS法(同时参考pe法)。方寸间近乎极限的操作无论是上个世纪90年代的“909工程”,还是2000年之后上海张江的集成电路产业爆发,每一代芯片人都身负理想、踌躇满志,由尹志尧领衔的中微公司创始团队亦如是。时间回拨至2004年,在美国半导体领域已闯荡20年的尹志尧带领了一只全球化团队回国创业;尹志尧本人在上世纪80年代曾前往加州大学洛杉矶分校留学,并获得物理化学博士学位;1984年至1991年,他先后在英特尔中心技术开发部、泛林半导体担任要职;之后在应用材料工作了13年,历任等离子刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁等;目前,尹志尧是89项美国专利和200多项其他海内外专利的主要发明人,也是国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者。中微公司的其他联合创始人、核心技术人员中还包括杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士等在国际半导体设备产业耕耘数十年的顶尖专家,他们在参与创立中微公司后,不断创造新的技术、工艺和设计。在集成电路产业中,先进集成电路大规模生产线的投资可达100亿美元,75%以上是半导体设备投资,其中光刻机、等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要、最大宗的三类设备。全球半导体设备市场一直主要由国外厂商主导,行业呈现高度垄断的竞争格局,技术壁垒明显。其中在刻蚀设备领域,2017年泛林半导体、东京电子、应用材料市场份额占比已分别达到55%、20%、19%。在成立伊始,中微公司就将目光瞄准了等离子体刻蚀设备领域。何谓刻蚀?首先要了解“光刻”,其是利用光学—化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图型传递到单晶表面或介质层上;之后的步骤才是“刻蚀”,是用化学或物理方法有选择地在硅片及外延材料表面去除不需要的材料的过程,这些化学物理反应在硅片上开槽打洞,形成令人叹为观止的微观结构。“一块指甲盖大小的芯片可集成几十亿个晶体管。这种微观器件领域方寸间近乎极限的操作,对刻蚀机的控制精度提出极高要求。”上海本地半导体制造业内人士向证券时报·e公司记者谈到,半导体设备技术门槛非常高,对一国集成电路产业的发展起着决定性的作用,可以说是全球尖端制造竞争的制高点。2007年,中微公司首台CCP刻蚀设备产品Primo D-RIE研制成功,由此迈开追赶国际先进水平的步伐。转眼到了2015年,美国商务部宣布解除了对我国等离子体刻蚀设备多年的出口管制,原因就在于中微公司已开发出了与美国设备公司具有同等质量和相当数量的等离子体刻蚀设备并实现了量产。多次知识产权诉讼未尝败绩之后,中微公司在薄膜沉积设备亦开始发力。2010年,中微公司开始研发用于LED器件加工中最关键的设备——MOCVD;到了2017年,公司逐步打破了维易科和爱思强两家国际知名企业的垄断。崛起之路并非坦途,更何况竞争对手均为老牌国际巨头。中微公司曾多次面临竞争对手们在知识产权领域发起的诉讼。截止2018年末,在中微公司历史上共涉及四起海内外知识产权诉讼案件,涵盖2件专利案件和2件商业机密案件。最终公司未尝败绩,在诉讼中均达成和解或胜诉,以事实证明了自身具有较坚实的知识产权地位和应对国际复杂的知识产权挑战的能力。这一结果与中微公司历来在研发保持高投入密不可分。2016年-2018年公司累计研发投入10.37亿元,约占营业收入的32%。自设立至2019年2月末,公司申请了1201项专利,其中发明专利1038项,海外发明专利465项;已获授权专利951项,其中发明专利800项。在研发人员方面,截至2018年末,公司共有研发和工程技术人员381名,占员工总数的58%,涵盖了等离子体物理、射频及微波学、结构化学、微观分子动力学、光谱及能谱学等相关学科的专业人员。如今,中微公司经过十五年的发展,所生产的高端刻蚀设备在国际市场上拥有了一席之地,等离子体刻蚀设备已在国际一线客户(主要为晶圆厂)从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。同时,公司的MOCVD设备在行业领先客户(LED外延片及芯片制造商)的生产线上大规模投入量产,已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED MOCVD设备制造商。技术的突破和产品量产化正转化为效益。财务数据显示,中微公司2016年至2018年营业收入分别为6.1亿元、9.72亿元、16.39亿元,年均复合增长率为64.00%;归母净利润分别为-2.39亿元、2991.87万元、9086.92万元。同时,公司预计2019年1-6月实现营业收入7.2-8.6亿元,同比增长55%-85%;预计实现扣非后归母净利润为2200-2600万元,较去年同期的-4801.28万元由负转正。谈及刻蚀设备增长潜力,诸海滨认为,中微公司的刻蚀设备虽然在销售规模上离全球半导体设备巨头尚有一定差距,但其部分技术水平和应用领域已达到国际同类产品的标准,公司产品正获得更多下游客户认可。2019年上半年预计扭亏转盈就是一个良好的信号,未来市场份额有望进一步提升,盈利提升也有望保持。剑指国际一流半导体设备公司苦练内功之际,中微公司也正计划借助资本市场取得更快速发展。从3月29日科创板上市申请获受理,到7月1日注册生效,中微公司历时仅93天,并成为25家科创板首批上市公司之一,将于7月22日(周一)迎来首批公司的上市仪式。对于国内硬核科技企业的代表,资本市场给出了高估值:发行价确定为29.01元/股,对应市盈率为170.75倍(按2018年扣非前归母净利润除以发行后总股本),对应市销率为9.47倍,对应市值为155.16亿元。对应募集资金为15.52亿元(超过原计划的10亿元),拟投向高端半导体设备扩产升级项目、技术研发中心建设升级项目及补充流动资金。对于上述定价结果,不乏估值是否过高的争议。多位受访机构人士对证券时报·e公司记者给出了解读。诸海滨认为,中微公司正处于高研发、高成长阶段,刻蚀设备、MOCVD后续均需大量研发投入以突破更先进技术节点等,因此销售收入增长速度相对而言能更好反映公司价值,所以PS比PE更适合对公司进行估值。本次发行价与A股可比公司在2019年的动态PS和PE估值水平基本相当。海通证券的投价报告此前曾给出,中微公司每股合理价值区间24.30-31.41元,对应19年净利润PE区间为66-85x;PS区间为6.43-8.31x;而A股同行可比公司PE(2019)平均值在60.43x左右,PS(2019)整体位于在7.15x左右。在一位曾参与询价的上海本地机构人士看来,中微公司高估值主要基于两点,一是稀缺性,二是业绩高成长预期,按多家机构预测,2019年公司扣非前净利润增速仍将在100%以上。“公司研发实力突出,市场预期也很高,但并非没有风险,未来公司能否保持长期的市场竞争力、下游晶圆厂和LED芯片制造商扩产是否符合预期等情况都需要进一步跟踪。”该机构人士同时指出。在获得资本市场百亿级估值后,未来目标在何处?展望未来,中微公司认为,公司将围绕自身核心竞争力,通过自主创新、有机生长,结合适当的兼并收购策略,不断推动企业健康发展,力争在未来十年内发展成为国际一流的半导体设备公司。
科创
IPO
中微公司
证券时报·e公司
王一鸣
2019-07-21 20:37
科创板受理企业董事长薪酬:高达千万低至4万,薪酬标准由谁定?
科技企业掌门人近年屡屡以高薪引爆话题,作为后生力量的新一批科创企业,高管薪酬又如何呢?据记者统计,在截至4月15日公布的十四批共77家科创板受理企业中,去年年薪最高的董事长领薪1774万元,最少的只有3.96万元,二者相差近450倍。而77家企业中,有37位董事长去年年薪低于100万元,占比达48.05%。业内人士分析称,企业高管薪酬和业绩整体成正比,技术相对成熟或已占据较高市场份额的科技型企业,高管薪酬水平也会相对较高。董事长若同时担任管理者和科研者,年薪则更为突出。此外,更具吸引力的是长期激励,若持有公司股票,可以享受企业上市后带来的股份增值,这是短期薪酬所不能达到的。去年董事长年薪最高相差447倍从招股书来看,受理企业董事、监事、高级管理人员及核心技术人员的薪酬普遍由工资、奖金和福利补贴组成。77家企业中,董事长2018年税前薪酬超过千万元的只有1位,税前薪酬在100万-1000万元的有26位,低于100万元的有37位,另有13位企业董事长在关联企业领薪,因此未披露数额。唯一进入千万年薪方阵的是“独角兽”澜起科技的董事长杨崇和,2018年领薪1774万元;去年年薪最低的是华特股份董事长石平湘,仅领薪3.96万元。二者相差达447倍。公开资料显示,澜起科技是目前业界领先的集成电路设计公司之一,此前曾一度登陆美股。澜起科技董事长杨崇和1774万元的年薪,不仅明显高于其他受理企业的董事长,比已在A股上市的芯片公司全志科技的董事长(去年薪酬265.26万元)也高出6倍多。从公司内部薪酬水平看,除总经理StephenTai外,澜起科技其他高管及核心技术人员薪酬均不足200万元。对此,澜起科技对新京报记者回应称,在公司领薪的董事、高管、核心技术人员薪资主要由工资、奖金、社保福利等部分构成,具体占比因人而异,取决于相关合同以及公司相关制度等。“杨崇和博士和StephenTai先生是公司的创始人,目前分别担任公司董事长兼首席执行官、董事兼总经理,是公司的核心领军人物。他们依据公司相关决策程序及合同等文件获取相关报酬。”作为特种气体国产化先行者的华特股份,也并非首次闯关资本市场,此前曾登陆新三板。但其董事长石平湘去年3.96万元的年薪,不仅低于其他高管及核心技术人员,甚至低于公司内部员工。招股书显示,2018年华特股份支付给职工以及为职工支付的现金达9346.6万元,截至2018年末,公司在册员工总数为811人。由此计算,公司员工去年人均年薪超过11万元。华特股份对新京报记者表示,公司已进入静默期,所以不便置评。一位知情人士透露,石平湘年事已高,目前对公司事务参与不多,非常重视此次公司登陆科创板的机会。公司招股书显示,石平湘1948年12月出生,今年已71岁。高管薪酬与公司盈利能力整体成正比一般情况下,导致薪酬差异的原因,包括企业技术成熟度、所占市场份额等。首创证券研究所所长王剑辉分析称,相对成熟的科技型企业,比如已经占据较高市场份额,高管薪酬水平也会较高,初级阶段则较低。更直观的差异还体现在盈利能力上。据记者统计,有44家企业去年归母净利润未超过1亿元,占比达57%。董事长薪酬排在前二的企业去年归母净利润分别为7.37亿元、4.75亿元;排在后两位的企业,去年归母净利润则分别为0.3亿元、0.68亿元。受理企业也“认证”了高管薪酬和业绩成正比这一关系。从招股书来看,多数受理企业董事、监事、高级管理人员及核心技术人员的薪酬总额占当年利润总额比例不超过10%,更多地集中在3%-8%。也有企业给核心人员发放的薪酬与利润比超过10%。例如微芯生物董事、监事、高级管理人员和核心技术人员去年薪酬总额770.75万元,占公司同期利润总额比达23.88%,2016年这一比例甚至超过了100%。对此,微芯生物对新京报记者表示,公司作为创新药医药企业,不能用普通企业的发展阶段简单套用,须参考同行业可比公司,目前的收入与支出符合行业发展规律,符合科创板医药研发型企业发展规律。在招股书中,微芯生物列举了贝达药业等5家A股上市公司为同行业可比公司。财报显示,贝达药业董事、监事和高级管理人员2018年获得的薪酬合计为1838.23万元,占同期利润总额约10%,但薪酬总额绝对值超过微芯生物。高薪是科创企业一种留人的方式。此前曾有业内人士表示,新药研发成功率低、周期长、高投入,因此研究人才和团队是关键。微芯生物在招股书中提到职工薪酬时也表示,公司作为研发型企业,对管理人员的综合能力要求相对较高,因此支付的薪酬较高,以及随着公司业务规模的扩大,对管理人员的薪酬福利提高。除了受业绩影响,董事长若同时担任管理者和科研者,年薪则更高。例如微芯生物董事长兼总经理鲁先平、申联生物医药董事长兼总经理聂东升,二人都同时是公司核心技术人员或首席科学官,去年薪酬分别达181.39万元、167.76万元,均为公司高管及技术人员中最高。一位科创企业内部人士还对记者表示,很多董事长都是企业创始人之一,有的不仅自带技术,也带来资金,前期资金投入也一定程度上和薪酬挂钩。例如中微半导体的创始人、董事长及总经理尹志尧在半导体芯片和设备产业有35年行业经验,是国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者,直接持有中微半导体1.29%股份,认缴出资额620万元。“大家看到的可能是今天的光鲜,却不知背后付出的心血,真正的科研企业是要承受得了艰辛才能看到希望和果实。”上述科创公司人士感慨道。股份增值红利大于短期薪酬判断一个企业薪资水平,除了实际到手的工资,还有一种隐性的远期福利不容忽视,就是股权激励。王剑辉分析称,科技型企业薪酬一般是由基本工资加股权激励机制两大部分组成。在股权激励机制中,有不同实施方式,比如有期权、股价上涨收益权等。知名财经评论人布娜新进一步表示,更具吸引力的是长期激励,“个别企业创始人、董事长、核心人员的薪酬偏低仅仅是体现在薪酬,但是作为公司股东可以享受企业上市后带来的股份增值,而资本增值又是薪酬所不能达到的。”目前有部分科创板受理企业已经实施了员工股权激励,形式大多是与员工合伙成立新的子公司,再持有母公司股份。例如安恒信息对骨干员工于2015、2016、2017年实施了3次股权激励,通过合伙成立嘉兴安恒、宁波安恒间接持有公司股份;华特股份的十大股东中,华弘投资、华和投资、华进投资均属于公司的员工持股平台,合计持股比例为35.27%;威胜信息也成立了安化瑞通、安化耀成、安化明启及安化卓和,作为公司员工持股平台。安翰科技的前身安翰有限,则是在2012年,对18名骨干和突出贡献员工以股票期权形式给予了股权激励额度,约占当时注册资本总额的1.63%,2015年,该股票期权等待期满,18名激励对象分别以获得现金收益、现金收益加股权权益份额的方式进行了行权。而更多的受理企业尚未制定如员工持股计划、限制性股票、股票期权等股权激励安排,公司大比例的股份仍握在创始人及其一致行动人手中,但企业普遍表示将适时研究出台员工的股权激励计划,进一步吸引和稳定人才队伍。这或是企业长远发展中不得不考虑的问题。王剑辉表示,工资集中度不太高的企业,对员工士气、团队凝聚力有好处。差异较大的话,两极分化严重不利于企业文化建设和长期发展。(新京报)
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