晶盛机电:目前自主研发的碳化硅单晶炉已经实现销售
e公司讯,晶盛机电(300316)9月16日在互动平台表示,公司较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发。目前自主研发的碳化硅单晶炉已经实现销售,外延设备已经取得客户技术验证通过。
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e公司讯,晶盛机电(300316)9月16日在互动平台表示,公司较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发。目前自主研发的碳化硅单晶炉已经实现销售,外延设备已经取得客户技术验证通过。